TMFC30V质量流量控制器
TMFM30V质量流量计
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型号 |
TMFC30V |
TMFC30A |
TMFC50V |
TMFC50A |
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流量范围(N2) |
10sccm~30SLM |
10sccm~30SLM |
10scc~50SLM |
10scc~50SLM |
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反应速度 |
≦1.0 sec |
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精度 |
±1.0 % FS |
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重复精度 |
±0.25 % FS |
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耐压 |
1300 PSIG |
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泄漏率 |
1 x 10-9 atm.cc/sec or less |
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操作温度 |
0~50℃ |
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配件材质 |
本体:SUS316 |
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阀体垫片:Vition™(Option Bura™or Kalrez™or Teflon™) |
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接续方式 |
标准:1/4 compression |
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选购: 1/8 compression,1/4 VCR™,3/8 Compression,VCR™ |
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电气接线 |
Dsub 15-pin 公接头单出线 |
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流量讯号输入 |
0~5 Vdc |
4~20mA |
0~5 Vdc |
4~20mA |
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流量讯号输出 |
0~5 Vdc |
4~20mA |
0~5 Vdc |
4~20mA |
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供应电压 |
＋15~28 Vdc/350mA |
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