二次气体分配盘单元
· 采用无尘CLASS1000级环境组装环境
· 科技厂等级5项测漏标准
· 保压测试,氦气测漏出厂报告确保管线泄露率
· 模组化电气接线实现单一串接共并联式整合可程式控制器介面协定(三菱,西门子..等)
· 采用标准BP或EP等级国际大厂阀件
· 单元模组采用SUS316配管等级
· 透明化气动配管,简单目视查修管线脏汙化
· 交期快速稳定,实现省工代工需求要求
· 接受客制化委讬设计出图,施工,代工作业
· 符合真空设备二次配管标准协议,采用不绣钢模组底板
GASUN2000 SERIER