流量計

型號

TMFC30V

TMFC30A

TMFC50V

TMFC50A

流量範圍(N2)

10sccm~30SLM

10sccm~30SLM

10scc~50SLM

10scc~50SLM

反應速度

≦1.0 sec

精度

±1.0 % FS

重複精度

±0.25 % FS

 耐壓

1300 PSIG

洩漏率

1 x 10-9 atm.cc/sec or less

操作溫度

0~50℃

配件材質

本體:SUS316

閥體墊片:Vition™(Option Bura™or Kalrez™or Teflon™)

接續方式

標準:1/4 compression

選購: 1/8 compression,1/4 VCR™,3/8 Compression,VCR™

電氣接線

Dsub 15-pin 公接頭單出線

流量訊號輸入

0~5 Vdc

4~20mA

0~5 Vdc

4~20mA

流量訊號輸出

0~5 Vdc

4~20mA

0~5 Vdc

4~20mA

供應電壓

＋15~28 Vdc/350mA