二次氣體分配盤單元
· 採用無塵CLASS1000級環境組裝環境
· 科技廠等級5項測漏標準
· 保壓測試,氦氣測漏出廠報告確保管線洩露率
· 模組化電氣接線實現單一串接共並聯式整合可程式控制器介面協定(三菱,西門子..等)
· 採用標準BP或EP等級國際大廠閥件
· 單元模組採用SUS316配管等級
· 透明化氣動配管,簡單目視查修管線髒汙化
· 交期快速穩定,實現省工代工需求要求
· 接受客制化委託設計出圖,施工,代工作業
· 符合真空設備二次配管標準協議,採用不繡鋼模組底板
GASUN2000 SERIER
